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仪器设备

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42 GeminiSEM300场发射扫描电子显微镜 FSEM-3

生产厂家:德国Carl Zeiss公司

广泛应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。


GeminiSEM300场发射扫描电镜配备多个检测器:In-lens环形二次电子探测器和高灵敏度二次电子检测器可获得极表面SE图像;可伸缩式高灵敏度五象限背散射电子探测器可获得原子序数衬度图像;牛津仪器X-Max 50能谱采用50mm2超大面积SuperATW窗口,可快速检测Be4-Cf98 元素;牛津仪器EXTREME无窗型超级能谱可在超低电压下进行成分分析,实现超高空间分辨率(10nm) ,可检测元素范围下限为Li3;牛津仪器Aztec Nordlys Max3高速EBSD系统,最高在线解析速度870Hz (8*8 binning),最小工作电压 5kV,可获得高空间分辨率,实现纳米材料取向分布分析。

管理人:郜鲜辉   027-87792451-8821   分析测试中心F2-114

44 Talos F200X场发射透射电子显微镜FTEM-2

生产厂家:荷兰FEI公司

广泛应用于材料、化学、物理、地质、地理、环境、生物、医学、金属、半导体、高分子、陶瓷等学科及领域。


Talos F200X场发射透射电镜的电子枪为肖特基热场发射超亮电子枪,STEM 分辨率可以达到0.16nm。配备4个SDD探头的超级能谱集成到了透射电镜的极靴里面,对称地放在样品的上方,可以高效率探测到元素在一维,二维,甚至三维空间的分布信息。Talos F200X还安装了STEM明场和暗场探头,可以同时得到STEM的明场像和暗场像。 该仪器仅适用于非磁性的粉体样品和FIB薄膜样品,不接任何含磁性元素的样品。

管理人:陈霞   027-87557452   分析测试中心E2-111

52 Gatan PECS II 685精密刻蚀镀膜仪(685)

生产厂家:美国 GATAN公司

EBSD样品制备、截面样品制备、金属材料(合金,镀层)、石油地质岩石矿物、光电材料、化工高分子材料、新能源电池材料。


精密刻蚀镀膜仪 (PECS) II,采用两个宽束氩离子束对样品表面进行抛光,去除损失层,从而得到高质量的样品,用于在SEM、光镜或者扫描电子探针上进行成像、EDS,EBSD,CL,EBIC或者其他分析,另外将这两支离子枪对准靶材溅射,可用来对样品做导电金属膜沉积处理,以防止样品在电镜中发生荷电效应。 PECS II样品台采用液氮制冷方式。可以有效的保护样品,避免离子束热损伤,消除可能的假象。

管理人:魏慧欣   027-87792451-103   分析测试中心F2-104

53 Gatan PIPS II 695 精密离子减薄仪(695)

生产厂家:美国 GATAN公司

半导体、金属(氧化物,合金) 、陶瓷。


采用聚焦离子束制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样(包括截面样品),薄区面积大、损伤小。X-Y可调样品台。能对减薄样品进行精确定位,可对样品感兴趣区域进行对中重复减薄。配备的数码变焦显微镜系统可以实时监测减薄过程,同时可将获取的彩色图像存储于DM软件中,用于与样品在TEM中成像对比。液氮冷台:有效的保护样品,避免离子束热损伤,消除可能的假象。

管理人:魏慧欣   027-87792451-103   分析测试中心F2-104

55 Titan G2 60-300球差校正透射电镜FTEM-3

生产厂家:美国FEI公司

Titan G2 60-300 是适用于二维和三维材料表征和化学分析的场发射透射微镜,具备宽的加速电压范围 (60-300 kV),结合Cs校正,分辨率可达原子级别。广泛应用于材料、化学、物理、地质、地理、环境、生物、医学、金属、半导体、高分子、陶瓷等学科及领域。


该仪器属于当今较先进的300kV球差校正透射电镜,将各种透射电镜技术(包括TEM、EFTEM、STEM、EDS/EELS频谱成像等)进行方便灵活地有机组合,形成了较为强大的分析功能。 备注:设备在维护阶段,当前对外服务HRTEM、STEM、SAED和EDS测试。

管理人:曾红霞   027-87557451-210   分析测试中心F2-108

56 双束扫描电子显微镜(FIB-SEM)

生产厂家:

用于金属、半导体、电介质、多层膜结构,地质化石等固体样品上制备微纳结构;高质量定点TEM样品制备;化学和晶体结构三维形态分析;飞行时间二次离子质谱;离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积;能谱及EBSD分析等。

该设备是同时具备聚焦离子束和扫描电子显微镜的双束系统。聚焦离子束通过对离子进行汇聚和扫描,实现对样品表面微纳尺度的加工。扫描电子显微镜通过对电子进行汇聚和扫描,实现对样品表面微纳尺度的观测。双束系统是一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能极其强大的综合型分析与表征设备。飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)具有优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度,可以检测到ppm或更低的浓度;深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率;可检测包含H在内的元素及同位素。AztecLive UltimMax100 EDS及Symmetry S2 EBSD与双束扫描电子显微镜结合,可进行复杂物相鉴定,晶粒大小分析,晶粒取向分析,应变分析等。可实现全自动高质量定点TEM样品制备。

管理人:崔树标   027-87793949-8105   分析测试中心F2-105

57 RISE-CLARA 扫描电镜拉曼联用系统 FSEM-5

生产厂家:TESCAN(捷克)WITec(德国)

涵盖材料科学、纳米技术、高分子、地质、生命科学以及制药产业等。
1. 从SEM获得形貌信息
2. 从EDS分析获得元素成分信息
3. 利用拉曼光谱获得化学成分和物质结构信息

该电镜具有较高分辨率,能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像(SE)和背散射电子像(BSE)观察;该电镜配有斜插能谱仪,可用于元素定性与半定量分析;该电镜仓内配有拉曼成像系统,激发光波长532nm、633nm,可以实现电镜内拉曼单谱扫描、2D和3D成像。

管理人:唐世艳   027-87793949-8109   分析测试中心F2-109

58 多功能大样品台原子力显微镜Jupiter XR(AFM-2)

生产厂家:Oxford Instruments Asylum Research, Inc(美国)

广泛应用于半导体材料、生物材料、高分子材料等研究领域。可以对各类薄膜样品,如半导体材料、光电材料、磁性材料的表面平整度及表面拓扑结构表征;可以对高分子材料、有机材料、橡胶等进行表面力学特性,如杨氏模量、粘滞力、耗损进行定性定量分析;可以对生物样品,如细胞、蛋白质、组织等样品进行快速扫描,检测生命体的反应过程。

Jupiter XR 原子力显微镜是一款能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM。 包含以下工作模式: 1、常规形貌测试:轻敲模式,接触模式,定量相位成像模式,液相模式。 2、纳米电学测试:开尔文探针显微镜(KPFM),静电力显微镜(EFM),导电测试(CAFM),磁力显微镜(MFM)。 3、纳米力学测试:快速力谱成像模块(10kpa-100Gpa),AM-FM 粘弹性成像模式(1MPa至100GPa),接触共振粘弹性模式(1GPa-300GPa),极化转换谱模式,高次谐波成像模式,损耗因子显微镜,力曲线,摩擦力测试。 4、压电力显微镜(PFM) 包含DART-PFM模式(双频共振追踪压电力显微镜),同时在共振峰的两侧施加两个振动频率以实时的追踪共振频率的变化。 5、blueDrive 光热激发模块 提供“干净的”和“稳定的”悬臂激励,适用于所有基于轻敲模式的成像和定量材料性质表征模式,显著增强测量结果的可重复性。 6、高分辨扫描电容显微镜(SCM) 使用(RF)微波射频型号探测样品中的电荷,载流子位置,掺杂水平和掺杂类型(p型和n型)等。 7时间分辨介电击穿测试(nanoTDDB)能提供介电模块表面的点均一性信息和研究二维材料的介电击穿性质。 8、纳米加工及刻蚀 9、环境控制,制冷(-30至120℃)精度0.1℃;加热(300℃)精度0.1℃。

管理人:严定策   027-87792451-106   东十七楼分析测试中心E2-106

65 IT800 场发射扫描电镜与原位拉伸系统(FSEM-4)

生产厂家:日本JEOL公司(主机)、美国EDAX公司(能谱与EBSD)、德国Kammrath & Weiss公司(拉伸台)

用于各种材料的微观组织形貌、元素组成及含量的检测与分析;实现容易受电子束损伤或导电性较差的材料的高分辨检测与分析;测定晶体材料物质结构、晶体取向、晶界类型等,分析晶体材料相变、微观应变、再结晶等;进行原位加热条件下的拉伸、压缩、疲劳等多种力学试验,借助高分辨扫描电镜及其附件分析微纳尺度下材料力学性能与微观组织、微观取向的内在关联。

该电镜具有高分辨率(二次电子像分辨率:0.5nm@15kV, 0.7nm@lkV),能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像(SE)和背散射电子像(BSE)观察;配有EDAX APEX能谱仪与EBSD分析系统,可用于元素定性与半定量分析,材料物质结构、晶体取向、晶界类型等;配有多功能原位台系统,进行原位室温及加热条件下的拉伸、压缩等多种力学试验,借助高分辨扫描电镜及其附件分析微纳尺度下材料力学性能与微观组织、微观取向的内在关联。

管理人:董宁宁   027-87557451-8101   东十七楼分析测试中心F2-107

67 ZEISS EVO-15环境扫描电镜(ESEM-2)

生产厂家:ZEISS(德国)

涵盖材料科学、高分子、地质、生命科学以及制药产业等。

低真空和环境真空技术可针对不导电和/或含水样品直接成像和分析,样品表面无荷电累积在各种操作模式下分析导电和不导电样品,同步获取二次电子像和背散射电子像。环境真空模式可以在各种温度或者压力的条件下对样品进行原位研究。

管理人:魏慧欣   027-87792451-103   东十七楼分析测试中心F2-103

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