56 双束扫描电子显微镜（FIB-SEM）

该设备是同时具备聚焦离子束和扫描电子显微镜的双束系统。聚焦离子束通过对离子进行汇聚和扫描，实现对样品表面微纳尺度的加工。扫描电子显微镜通过对电子进行汇聚和扫描，实现对样品表面微纳尺度的观测。双束系统是一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能极其强大的综合型分析与表征设备。飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）具有优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度，可以检测到ppm或更低的浓度；深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率；可检测包含H在内的元素及同位素。AztecLive UltimMax100 EDS及Symmetry S2 EBSD与双束扫描电子显微镜结合，可进行复杂物相鉴定，晶粒大小分析，晶粒取向分析，应变分析等。可实现全自动高质量定点TEM样品制备。