仪器设备

电镜及常规显微分析

65 IT800 场发射扫描电镜与原位拉伸系统（FSEM-4）

JSM-IT800

生产厂家

日本JEOL公司（主机）、美国EDAX公司（能谱与EBSD）、德国Kammrath & Weiss公司（拉伸台）

仪器介绍

该电镜具有高分辨率（二次电子像分辨率：0.5nm@15kV, 0.7nm@lkV），能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像（SE）和背散射电子像（BSE）观察；配有EDAX APEX能谱仪与EBSD分析系统，可用于元素定性与半定量分析，材料物质结构、晶体取向、晶界类型等；配有多功能原位台系统，进行原位室温及加热条件下的拉伸、压缩等多种力学试验，借助高分辨扫描电镜及其附件分析微纳尺度下材料力学性能与微观组织、微观取向的内在关联。

技术参数

扫描电镜部分（JSM IT800）：二次电子像分辨率：0.5nm@15KV；0.7nm@1KV 放大倍数：10~200万倍加速电压0.01KV~30KV 探针电流：2pA~500nA 能谱（EDAX--电制冷Octane Elite Super）：元素范围：Be4~Cf98；能量分辨率优于125 eV@Mn Kα EBSD（EDAX--VelocityTM Super）：扫描和指标化速度：4500点/秒角度分辨率：小于0.1° 成像分辨率：3000点/秒采集速度下像素分辨率120*120 多功能原位台（Kammrath & Weiss原位加热拉伸台）：最大载荷：5KN 力分辨率：≤1N 拉伸速度：0.1μm/s至20μm/s 可加热最高温度：800℃ 加热温度稳定性：≤1℃

技术特点

分辨率高（最佳分辨率优于0.5nm）；拥有卓越低电压性能和高束流稳定性，可以进行低电压下高分辨成像； EDAX 电制冷能谱Octane Elite Super探测器，有效活区面积70mm2，能量分辨率优于125 eV@Mn Kα，可进行定性定量点、线、面分布分析； EDAX 电子背散射衍射仪（EBSD）的VelocityTM Super探测器，高速、高灵敏度和低噪音，最高采集速度可达4500点/秒；角分辨率优于0.1°；多功能原位拉伸台具有高温和拉压功能，能够完美地与EDS/EBSD联用，分析微纳尺度下材料力学性能与微观组织、微观取向的内在关联。

应用范围

用于各种材料的微观组织形貌、元素组成及含量的检测与分析；实现容易受电子束损伤或导电性较差的材料的高分辨检测与分析；测定晶体材料物质结构、晶体取向、晶界类型等，分析晶体材料相变、微观应变、再结晶等；进行原位加热条件下的拉伸、压缩、疲劳等多种力学试验，借助高分辨扫描电镜及其附件分析微纳尺度下材料力学性能与微观组织、微观取向的内在关联。

投入日期：2024.03

管理人员：董宁宁安放地址：东十七楼分析测试中心F2-107

联系电话：027-87557451-8101

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电镜及常规显微分析

65 IT800 场发射扫描电镜与原位拉伸系统（FSEM-4）

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