Jupiter XR 原子力显微镜是一款能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM。 包含以下工作模式:
1、常规形貌测试:轻敲模式,接触模式,定量相位成像模式,液相模式。
2、纳米电学测试:开尔文探针显微镜(KPFM),静电力显微镜(EFM),导电测试(CAFM),磁力显微镜(MFM)。
3、纳米力学测试:快速力谱成像模块(10kpa-100Gpa),AM-FM 粘弹性成像模式(1MPa至100GPa),接触共振粘弹性模式(1GPa-300GPa),极化转换谱模式,高次谐波成像模式,损耗因子显微镜,力曲线,摩擦力测试。
4、压电力显微镜(PFM) 包含DART-PFM模式(双频共振追踪压电力显微镜),同时在共振峰的两侧施加两个振动频率以实时的追踪共振频率的变化。
5、blueDrive 光热激发模块 提供“干净的”和“稳定的”悬臂激励,适用于所有基于轻敲模式的成像和定量材料性质表征模式,显著增强测量结果的可重复性。
6、高分辨扫描电容显微镜(SCM) 使用(RF)微波射频型号探测样品中的电荷,载流子位置,掺杂水平和掺杂类型(p型和n型)等。
7时间分辨介电击穿测试(nanoTDDB)能提供介电模块表面的点均一性信息和研究二维材料的介电击穿性质。
8、纳米加工及刻蚀
9、环境控制,制冷(-30至120℃)精度0.1℃;加热(300℃)精度0.1℃。