42 GeminiSEM300场发射扫描电子显微镜 FSEM-3

GeminiSEM300场发射扫描电镜配备多个检测器：In-lens环形二次电子探测器和高灵敏度二次电子检测器可获得极表面SE图像；可伸缩式高灵敏度五象限背散射电子探测器可获得原子序数衬度图像；牛津仪器X-Max 50能谱采用50mm2超大面积SuperATW窗口，可快速检测Be4-Cf98 元素；牛津仪器EXTREME无窗型超级能谱可在超低电压下进行成分分析，实现超高空间分辨率(10nm) ，可检测元素范围下限为Li3；牛津仪器Aztec Nordlys Max3高速EBSD系统，最高在线解析速度870Hz (8*8 binning)，最小工作电压 5kV，可获得高空间分辨率，实现纳米材料取向分布分析。