双束扫描电子显微镜FIB（仪器预约编号56）配置的能谱和EBSD已经安装调试完成，其主要技术参数为：
1. 品牌：牛津仪器。
2. 能谱仪：型号Ultim Max 100；电制冷；100mm2窗口面积；元素范围Be4~Cf98；分辨率127eV@Mn Ka，56eV@C Ka。
3. EBSD：型号Symmetry S3；高速、高灵敏度和低噪音CMOS相机，相机分辨率1244×1024；在线解析标定速度优于4500点/秒；图像分辨率8192×8192，面分布图分辨率4096×4096；取向精度0.05度；最小工作电流100pA；最小工作电压5kV；高级版分析软件，包括真实面分布、自动漂移校正、定量面分布、大面积拼接等；常用的晶体学数据库。
该附件从2024年4月9日起开始试运行，校内师生如有需求可预约测试，负责人：崔树标老师，咨询电话：027-87793949-8105。能谱和EBSD测试仅限每周四和每周五，其他时间不开放该附件。
